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產品概要
支持Sic/Gan晶圓測試，大功率晶圓測試； 更換Chuck設計，可針對不同晶圓測試； 可與儀器儀表系統進行集成； 可升級高低溫測試環境測試
基本信息
| 產品型號 | A8、A12 | 工作環境 | 開放式 |
| 電力需求 | 220V，50/60Hz | 操控方式 | 全自動 |
| 產品尺寸 | A8(1124 x 1111 x 925) ；A12(1600 x 1660 x 1450) | 設備重量 | 1.2T, 2T |
應用方向
晶圓測試、各類器件、Wafer等進行I-V、C-V、光信號、RF、1/f噪聲等特性分析、射頻測試等
技術特點
A8全自動探針臺
●小尺寸輕重量，更小的占地面積 ●微米級全閉環運動控制 ●伯努利手臂支持薄片 ●高精度和測試速度，大大提高測試效率 ●24*7全天候在片探測 ●高壓大電流測試應用
A12全自動探針臺
●高測試精度與測試速度，大大提升產能效益 ●全自動化系統運行，快速安全可靠測試 ●支持單點測試和連續測試 ●綜合控制系統，快速接入儀器測試 ●CHUCK高效測試系統，運行速度超200mm/s ●豐富的軟件自動化測試 ，機械精度精確校準 ●可升級自動wafer厚度測量和ID讀卡 ●內部防震系統裝置，運行更穩定
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